滎陽市光明金剛石實(shí)業(yè)有限公司
經(jīng)營模式:生產(chǎn)加工
地址:河南省滎陽市萬山南路
主營:人造金剛石磨輪,精磨片,研磨膏,各種電鍍金剛石工具定制
業(yè)務(wù)熱線:0371-64655985
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DLC膜的光學(xué)性能
DLC膜在可見光區(qū)通常是吸收的,但是在紅外區(qū)具有很高的透過率。DLC膜光隙帶寬度一般在2.7eV以下。DLC膜光隙帶寬度對沉積方法及工藝參數(shù)比較敏感。在用ECRCVD法制備DLC膜時隨著沉積氣壓的而增大。
DLC膜的折射率一般在1.5~2.3,磁控濺射制備DLC膜時,折射率隨濺射功率的增加而緩慢增加,隨濺射氮?dú)鈮毫ι叨档汀?/span>穩(wěn)定性:含氫和不含氫的DLC都是亞穩(wěn)態(tài)的材料,熱穩(wěn)定性很差,通過熱激發(fā)或光子、離子的能量輻射,它們的結(jié)構(gòu)將向類石墨化方向轉(zhuǎn)變,加熱含氫DLC將導(dǎo)致氫和CHx的釋放。
金剛石粉末沉積在400℃開始
一般在400攝氏度開始,甚至更低,這依靠沉積條件和膜中的摻雜物,由于成分組成的變化將使材料面積和屬性發(fā)生變化,限制了DLC在超400攝氏度環(huán)境中的應(yīng)用。
DLC的熱穩(wěn)定性一般是氫的釋放相關(guān)的,進(jìn)而導(dǎo)致結(jié)構(gòu)塌陷為更多的sp2鍵網(wǎng)絡(luò),使材料石墨化。有報道說熱激發(fā)也誘發(fā)了taC膜的變化,使sp3鍵轉(zhuǎn)化為sp2鍵,釋放在低溫100攝氏度開始,在600攝氏度則完全釋放,熱釋放減少了taC膜的內(nèi)應(yīng)力,增加了它的電傳導(dǎo)性。
絲的溫度越高,越有利于金剛石的生長
目前,用于制作熱絲的是否應(yīng)該是v額鎢、鉭和錸。鎢絲便宜,鉭絲、錸絲相對較貴,鉭絲的高溫性能好于鎢絲。熱絲再沉積金剛石膜前必須被碳化,絲溫度在1800℃~2400℃之間,用鉭絲時頂點(diǎn)溫度可達(dá)2400℃,而用鎢絲則一般溫度在2000℃~2200℃之間。
一般來說,絲的溫度越高,越有利于金剛石的生長,因?yàn)闊峤z是分解混合氣體的能量來源,絲的溫度越高,產(chǎn)生的氫原子和含碳活性基團(tuán)就越多,促使金剛石生長,當(dāng)絲的溫度低于1800℃時,很難生長金剛石,但是絲的溫度過高將導(dǎo)致絲壽命短,絲材蒸發(fā)嚴(yán)重,對金剛石膜有污染。